高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領(lǐng)域極寬，在半導體工業(yè)，高純氮、氫、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。色譜分析檢測過程中，氣相色譜儀對所用的氣體純度有較高的要求，為既達到工作要求，又能延長儀器壽命，所用氣體的純度要達到或略高于儀器自身對氣體純度的要求;否則，若使用不符合要求的低純度氣體，會造成一系列不良影響。
半導體氣體很多是對人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應，開始燃燒；還有AsH3的毒性，任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害，也就是因為這些顯而易見的危險，所以對于系統(tǒng)設(shè)計安全性的要求就特別高。氣體的使用在半導體制程中一直扮演著重要的角色，特別是半導體制程目前已被廣泛的應用于各項產(chǎn)業(yè)，凡舉傳統(tǒng)的ULSI、TFT-LCD到現(xiàn)在的微機電(MEMS)產(chǎn)業(yè)，皆以所謂的半導體制程為產(chǎn)品的制造流程，其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體，而氣體的純度則對組件性能、產(chǎn)品良率有著決定性的影響，氣體供應的安全性則關(guān)乎人員的健康與工廠運作的安全。
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